APPARATUS HAVING NUMBERS OF SLIT NOZZLES FOR RINSING SUBSTARTE AND METHOD FOR RINSING SUBSTRATE USING THE SAEM,申请号KR20050098911-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS HAVING NUMBERS OF SLIT NOZZLES FOR RINSING SUBSTARTE AND METHOD FOR RINSING SUBSTRATE USING THE SAEM
摘要
申请公布号	KR100758220(B1)	申请公布日期	2007.09.17
申请号	KR20050098911	申请日期	2005.10.20
申请人		发明人
分类号	H01L21/30;G02F1/13	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
主权项
地址