发明名称 电路布线之形成方法
摘要 本发明提供一种电路布线之形成方法,其系在绝缘性基材1上形成第一布线层2,并以此第一布线层2间具有所需空隙之方式在第一布线层2之外面形成第一布线保护层3。然后,在全面形成较第一布线保护层3之上端还要厚之导体层4,接着,从导体层4上面对全面进行研磨后,使用遮罩材5除去导体层4之不要部分,据以形成第二布线层6。亦可在此第二布线层6上形成第二布线保护层7。
申请公布号 TW200607029 申请公布日期 2006.02.16
申请号 TW093123335 申请日期 2004.08.04
申请人 美克特龙股份有限公司 发明人 豊岛良一
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠
主权项
地址 日本