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发明名称
电路布线之形成方法
摘要
本发明提供一种电路布线之形成方法,其系在绝缘性基材1上形成第一布线层2,并以此第一布线层2间具有所需空隙之方式在第一布线层2之外面形成第一布线保护层3。然后,在全面形成较第一布线保护层3之上端还要厚之导体层4,接着,从导体层4上面对全面进行研磨后,使用遮罩材5除去导体层4之不要部分,据以形成第二布线层6。亦可在此第二布线层6上形成第二布线保护层7。
申请公布号
TW200607029
申请公布日期
2006.02.16
申请号
TW093123335
申请日期
2004.08.04
申请人
美克特龙股份有限公司
发明人
豊岛良一
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
林镒珠
主权项
地址
日本
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