隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合

摘要

本发明提供一种隔离片以及晶圆储存盒与隔离片的组合。一隔离片，支撑晶圆储存盒中的晶圆堆叠，包括一实质上平坦的主要区域以及复数个突出物于该隔离片的周边区域，该复数个突出物支撑晶圆堆叠。