制造液体射出装置之方法

摘要

一制造液体射出装置之方法系包含提供一用以界定流体性空间之障壁层。障壁层所界定的流体性空间系充填有填料。一通路系蚀刻经过基材。蚀刻通路之后系自流体性空间移除填料。