非挥发性铁电垂直电极单元,具有该单元之铁电随机存取记忆体及制造该单元之方法

摘要

本发明揭示一种非挥发性铁电垂直电极单元，其包含一铁电电容器及一串联PN二极体开关。该铁电电容器包括一作为第一电极之字线垂直电极及一作为第二电极之储存垂直电极，该储存垂直电极以预定间隔与该字线垂直电极隔开以形成柱型，其中在第一电极与第二电极分离之空间内填充有铁电材料。该串联PN二极体开关连接于一位元线与该铁电电容器之间，且依该位元线与该铁电电容器之间的电压变化选择性地切换该位元线与该铁电电容器之间的电流方向。