具快速气体切换能力之气体分布系统

摘要

本发明提供用于供应不同气体组合物进入腔室(诸如电浆处理装置之电浆处理腔室)之气体分布系统。该气体分布系统可包括一气体供应部分、一流量控制部分及一切换部分。该气体供应部分向控制第一与第二气体进入腔室之流量之流量控制部分提供第一与第二气体，通常为气体混合物。该腔室可包括多个区域，且该流量控制部分可向该等多个区域以该等气体之理想流量比供应第一与第二气体。该气体分布系统可连续向切换部分供应第一与第二气体，且该切换部分可操作以切换第一与第二气体之气流，促使第一与第二处理气体之一被供应至腔室，而第一与第二气体中之另一气体被供应至旁路管线，且然后切换气流。该切换部分较佳包括快速切换阀，该等快速切换阀可操作以快速打开与关闭，以允许第一与第二气体之快速切换，较佳在任一气体流动中不发生非想要之压力骤升或流动不稳定性。