发明名称 液体加热设备、清洗设备及清洗方法
摘要 本发明旨在:提供一种于不污染纯水或清洗液之情况下,有效的加热之液体加热设备、液体加热方法以及利用该加热方法之清洗设备及清洗方法。从贮存有纯水之密闭状态的纯水槽(5)的顶部、侧部以及底部中之至少一个部份照射微波,由此非接触的加热纯水。
申请公布号 TW200607015 申请公布日期 2006.02.16
申请号 TW094122431 申请日期 2005.07.01
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 三由裕一;菅野恒;佐藤泰夫
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本