催化型分子束磊晶装置及用以成长III族氮化物材料之方法APPARATUS OF CATALYTIC MOLECULE BEAM EPITAXY ADN PROCESS FOR GROWING III-NITRIDE MATERIALS USING THEREOF

摘要

本发明系关于催化型分子束(Catalytic MBE)磊晶装置及利用该装置成长III族氮化物之方法，其特点是该设备系使用热灯丝催化分解NH3气或N2气以提供活性氮源作为III族氮化物MBE磊晶成长所需之V族元素。