溅镀靶材

摘要

本发明系提供一种溅镀靶材，从而其可在溅镀时尽量不发生放电(arcing)现象、喷溅(splash)现象。本发明系对于溅镀靶材之使用于溅镀之部分进行摩擦搅拌处理者，因此即使是含碳之铝类合金之溅镀靶材、大型溅镀靶材，也可成为确实抑制溅镀时之放电现象、喷溅现象者。