有机材料用蒸发源及有机蒸镀装置

摘要

本发明，是提供一种有机材料用蒸发源及有机蒸镀装置，可使大型基板获得均匀膜厚分布成膜的同时，还可正确并且反应性良好地执行蒸镀时的加热温度及蒸发速度的控制。本发明的蒸发源，具备有：要收容指定有机材料用的容器本体部31a，该容器本体部31a具有高频感应线圈50所形成的加热部；及盖部31b，该盖部31b具有可使该有机材料的蒸气通过的蒸发口31c。从盖部31b的蒸发口31c放出的有机材料的蒸气量，构成为以指定基准位置为基准对于平面性位置是增加成末端扩散状。