薄膜保持装置及薄膜保持方法

摘要

本发明系提供一种可提高薄膜之平面度，并可提高薄膜加工精密度之薄膜保持装置。本薄膜保持装置150系构成为具备有：以薄膜101露出正反两面之方式，保持一边102之钳部(clamp)152；以薄膜101露出正反两面之方式，保持一边103之钳部153；支持成可在X方向106移动钳部153之直线驱动部161；支持成可在Y方向107移动钳部153之直线驱动部162；支持成可在θ方向108转动钳部152、153之转动部163、164；以及在将钳部153从钳部152隔离之方向上施力之施力部171。