| 摘要 |
揭示了一种在一底层上制造一尖锐突出物的方法。将一尖端层沉积于一底层上，然后再将一罩层沉积于该尖端层上。该罩层藉由一梁–和–帽状状图案加以图案化，其用于在罩层里形成一梁–和–帽状状罩。尖端层之未被梁–和–帽状状罩所覆盖的部分被各向同性地蚀刻从而形成了包括一顶峰的一尖端。梁–和–帽状状罩之梁部分支撑帽状部分并且防止在各向同性蚀刻制程过程中帽状部分的释开。各向异性蚀刻制程可先于各向同性蚀刻制程使用，以改变尖端的特征。底层可被图案化和蚀刻，从而形成一包括尖锐突出物的悬臂，该尖锐突出物从悬臂表面向外延伸。 |
