| 摘要 |
本发明包含一线圈支撑总成，其具有一介接屏蔽板之表面的绝缘子，该屏蔽板设置在一处理室内。该绝缘子具有一穿过该屏蔽板之延伸部份。第二绝缘子系设置在该屏蔽板及一线圈之间，且接触一由该线圈伸出之突出部份。一紧固件系设置穿过该第一绝缘子，并穿过该第二绝缘子及进入该突出部份。该紧固件系由该屏蔽板藉着该第一绝缘子电绝缘。本发明包含线圈总成，该线圈总成包含所叙述之线圈支撑架构。本发明另包含在处理室内支撑一线圈之方法，一屏蔽板已设置在该处理室内。插入绝缘子，以由该屏蔽板之一外部侧面穿过该屏蔽板之一厚度。一线圈系藉着经过每一绝缘子将紧固件插入轴衬而安装在该室内，该等轴衬由该线圈本体向外突出。 |
