| 摘要 |
本发明系提供具有所期望穿透率，且具有零附近的相移量，较薄膜厚的半透光膜，利用此半透光膜的新颖相移罩幕及可制造此相移罩幕的光罩毛胚，暨上述半透光膜之设计方法。形成于透光性基材上，并使所期望波长λ的光其中一部分穿透过的半透光膜，且至少具有一层具下述机能的相位差降低层。换言之，上述相位差降低层系有满足0＜d≦λ／(2(n–1))的折射率n与膜厚d，为由通过层的光之相位(以下称「层穿透光」)，减掉通过无层时的光(以下称「层参照光」)之相位之差值Δθ(以下称「相位差Δθ」(单位度))，较小于从层穿透光与层参照光的光学距离差，所计算出值Δθo＝(360／λ)×(n–1)×d(以下称「相位差Δθo」(单位：度))的层。 |
