分析方法

摘要

一种分析方法。首先，提供一基板，此基板上形成有至少一膜层覆盖待分析图案及参考图案。接下来，移除部份膜层至暴露出参考图案，并以参考图案作为参考，定位出未暴露之待分析图案。最后，对定位好之待分析图案进行分析。如此可进行准确的分析且避免图形的破坏。