摘要 |
本发明主要是提出一个光弹调变器相位角的校正法,以便用在椭圆偏光仪线上即时量测。本法是利用数据撷取方式藉由傅立叶转换量测光弹调变器之多倍频信号,进而换算光弹调变器的相位调变振幅及其内禀相位延迟。此外,经由反射式及穿透式架构判断相位调变振幅,可确定不受系统频率响应影响。相位调变振幅也可以用其数据化之检波波形自行验证。本发明并证实数据化之检波波形的不对称也因为光弹调变器的内禀相位延迟的存在。为发展此仪器为一即时椭圆偏光光谱仪,在固定调变相位延迟下以568.2奈米为中心波长,进行五个不同波长光弹调变器的相位调变振幅校正。 |