<p>Die Erfindung betrifft ein Elektronenstrahlgerät (10), mit einem Strahlerzeuger (11) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls, einer Objektivlinse (4) zur Fokussierung des Elektronenstrahls auf einem Objekt (9) und mindestens einem Detektor (19) zur Detektion von am Objekt (9) zurückgestreuten oder vom Objekt (9) emittierten Elektronen. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Elektronenstrahlgerät die Detektion von am Objekt zurückgestreuten Elektronen oder vom Objekt emittierten Elektronen zu vereinfachen und zu verbessern. Erfindungsgemäß sind hierzu Quadrupoleinrichtungen (7, 8) sowie bestimmte Anordnungen dieser Einrichtungen im Elektronenstrahlgerät (10) vorgesehen.</p>
申请公布号
WO2006015732(A1)
申请公布日期
2006.02.16
申请号
WO2005EP08216
申请日期
2005.07.28
申请人
CARL ZEISS NTS GMBH;ESSERS, ERIK;BENNER, GERD;DREXEL, VOLKER