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Ein VCSEL umfasst einen Zwischenraum in einem Spiegelstapel und eine Schutzschicht, die ein Ende des Zwischenraums abdichtet. Der Zwischenraum definiert eine Grenze der Öffnung des VCSEL, ohne die Belastungen einzuführen, die Oxidregionen in Oxid-VCSELs bewirken können, und die Schutzschicht, die eine dielektrische Dünnschicht sein kann, schirmt den Spiegelstapel vor einer Umgebungsbeschäftigung ab. Der VCSEL kann so eine hohe Zuverlässigkeit erzielen. Ein Herstellungsverfahren für den VCSEL bildet ein Oxidationsloch, oxidiert einen Abschnitt einer aluminiumreichen Schicht in einem Spiegelstapel des VCSEL, der in dem Loch frei liegt, und entfernt dann das gesamte resultierende Oxid oder einen Teil desselben, um den erwünschten Zwischenraum zu bilden. Die Schutzschicht kann dann aufgebraucht werden, um ein Ende des Zwischenraums abzudichten.
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