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发明名称 A PROCESS FOR MAKING A PHOTOACTIVE COMPOUND AND PHOTORESIST THEREFROM
摘要
申请公布号 KR100551935(B1) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 KR20007008371 申请日期 2000.08.01
申请人 发明人
分类号 G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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