发明名称 Method and apparatus for monitoring diffusion pump back-streaming in the throat of said pump
摘要
申请公布号 US3297872(A) 申请公布日期 1967.01.10
申请号 US19640361922 申请日期 1964.04.22
申请人 KENNEDY PATRICK B 发明人 KENNEDY PATRICK B.
分类号 F04F9/00 主分类号 F04F9/00
代理机构 代理人
主权项
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