发明名称 |
Verfahren zum strukturierten Aufbringen einer laminierbaren Folie auf ein Substrat für ein Halbleitermodul |
摘要 |
Verfahren zum strukturierten Aufbringen einer laminierbaren Zwischenschicht (9) auf ein Substrat (1) für ein Halbleitermodul, bei dem auf das Substrat (1) großflächig eine Trennschicht (8) mittelbar oder unmittelbar aufgebracht wird, die Zwischenschicht (9) mittels Laminieren auf das Substrat (1) einschließlich der Trennscchicht(en) (8) großflächig aufgebracht wird, an Stellen des Substrats (1), an denen Aussparungen der Zwischenschicht (9) vorgesehen sind, die Zwischenschicht (9) geöffnet wird, und die Trennschicht (8) an diesen Stellen entfernt wird.
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申请公布号 |
DE102004018468(A1) |
申请公布日期 |
2006.02.16 |
申请号 |
DE20041018468 |
申请日期 |
2004.04.16 |
申请人 |
EUPEC EUROPAEISCHE GESELLSCHAFT FUER LEISTUNGSHALBLEITER MBH |
发明人 |
KEMPER, ALFRED;LICHT, THOMAS |
分类号 |
H01L21/48;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/48;H01L23/538;H01L25/07;H05K3/00;H05K3/28 |
主分类号 |
H01L21/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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