发明名称 研磨垫
摘要 本发明之目的在于提供一种耐久性优异之研磨垫。本发明之研磨垫系在基材层上设有研磨层,且前述研磨层系由具有平均气泡径35~300μm之大致球状连续气泡的热硬化性聚胺甲酸酯发泡体构成者。
申请公布号 TW200812748 申请公布日期 2008.03.16
申请号 TW096114785 申请日期 2007.04.26
申请人 东洋橡胶工业股份有限公司 发明人 福田武司;丸山觉史;广濑纯司;中村贤治;堂浦真人
分类号 B24B37/00(2006.01);C08G18/00(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24B37/00(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本