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发明名称 Method for Forming Dual Damascene Structure
摘要
申请公布号 KR100822138(B1) 申请公布日期 2008.04.15
申请号 KR20020016962 申请日期 2002.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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