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Verfahren zur Erfassung von Bildern einer Probe mit einem Mikroskop, wobei detektierte Bilddaten, die dreidimensionalen Probenbereichen entsprechen, detektiert und abgespeichert werden, DOLLAR A wobei eine Datenkompression erfolgt, indem auf der Probe nebeneinander und übereinander liegende Bilddaten bei der Kompression berücksichtigt werden. DOLLAR A Vorteilhaft wird ein Bildstapel aufgenommen und jeweils benachbarte Bilder des Bildstapels zur Datenkompression herangezogen. DOLLAR A Es werden zeitliche und/oder spektrale detektierte und abgespeicherte Daten zur Datenkompression herangezogen.
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