发明名称 Verfahren zum Betrieb von Vakuumanlagen mit Drückänderungen
摘要
申请公布号 DE502004000088(D1) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 DE200450000088T 申请日期 2004.03.26
申请人 APPLIED FILMS GMBH & CO. KG 发明人 HEIN, STEFAN;KLEMM, GUENTER
分类号 B65H5/02;B08B5/02;B08B5/04;B65H23/025;B65H27/00;C23C14/56;D06C3/06;D21G1/02;F16C13/00;H01L21/02 主分类号 B65H5/02
代理机构 代理人
主权项
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