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经营范围
发明名称
Verfahren zum Betrieb von Vakuumanlagen mit Drückänderungen
摘要
申请公布号
DE502004000088(D1)
申请公布日期
2006.02.16
申请号
DE200450000088T
申请日期
2004.03.26
申请人
APPLIED FILMS GMBH & CO. KG
发明人
HEIN, STEFAN;KLEMM, GUENTER
分类号
B65H5/02;B08B5/02;B08B5/04;B65H23/025;B65H27/00;C23C14/56;D06C3/06;D21G1/02;F16C13/00;H01L21/02
主分类号
B65H5/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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