发明名称 Herstellungsverfahren für eine Verbindung
摘要
申请公布号 DE19855924(B4) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 DE19981055924 申请日期 1998.12.02
申请人 MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG 发明人 TSAI, NIEN-YU;CHANG, HONG-LONG;CHEN, CHUN-WEI;KUNG, MING-LI
分类号 H01L21/283;H01L21/768 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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