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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING METAL LINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060014835(A) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 KR20040063552 申请日期 2004.08.12
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, HYUNG SOON;PARK, JUM YONG;RYU, CHEOL HWI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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