光阻剂组成物，光阻剂组成物之涂布方法及光阻剂图案之形成方法

摘要

本发明系一种光阻剂组成物、光阻剂组成物之涂布方法及光阻剂图案之形成方法，主要系提供在涂布时不形成条斑等的LCD─TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光阻剂组成物、光阻剂组成物的涂布方法及抗蚀剂图案的形成方法。排出喷嘴式涂布法光阻剂组成物含有：（A）碱可溶性树脂；（B）感光剂；以及（C）由含以通式（1）：CH#sB!2#eB!＝CR#sP!1#eP!COOCH#sB!2#eB!CH#sB!2#eB!C#sB!8#eB!F#sB!17#eB!（式中，R#sP!1#eP!是氢原子或者甲基）表示的氟代烷基单体（ml）和含以通式（2）：CH#sB!2#eB!＝CR#sP!2#eP!COO（C#sB!3#eB!H#sB!6#eB!O）nH（式中，R#sP!2#eP!是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7）表示的聚氧丙烯单体（m2）构成的单体混合物（m）进行聚合而得到的共聚物（P），上述单体混合物（m）中的上述单体（m1）和（m2）的混合比（m1）/（m2）是25/75～46/60（重量比），且上述共聚物（P）的重均分子量是3000～10000的氟系表面活性剂。