Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikroskopes

摘要

Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikroskops, wobei eine Abtastung einer Probe zur Erzeugung eines Probenbildes in Abtastschritten erfolgt DOLLAR A und der Abstand zwischen mindestens zwei Abtastschritten variabel einstellbar ist DOLLAR A und mindestens eine zweite Abtastung der Probe erfolgt, bei dem die Lage der Abtastschritte zur Abtastrichtung versetzt wird, DOLLAR A wobei vorzugsweise eine zeilenweise Abtastung einer Probe erfolgt.