发明名称 Gassensor und Verfahren zum Betreiben einer Getterpumpe
摘要 Der Gassensor weist eine Pumpenkammer (11) auf, die mit einer Getterpumpe (30) über einen Drosselkanal (20) verbunden ist. Die Detektionskammer (11) ist durch eine Wand (12, 13), die selektiv nur für Wasserstoff durchlässig ist, abgeschlossen. Die Getterpumpe (30) saugt Wasserstoff aus der Detektionskammer (11) ab. Wenn durch die Wand (12, 13) Wasserstoff in die Pumpenkammer (11) diffundiert, wird dies durch einen hochempfindlichen Drucksensor (14) detektiert. Der Gassensor ist von einfachem Aufbau. Er benötigt kein Massenspektrometer.
申请公布号 DE102004034381(A1) 申请公布日期 2006.02.16
申请号 DE200410034381 申请日期 2004.07.16
申请人 INFICON GMBH 发明人 WETZIG, DANIEL
分类号 G01M3/04;G01M3/20;G01N7/10 主分类号 G01M3/04
代理机构 代理人
主权项
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