Bilden einer Mehrzahl von Dünnfilmbauelementen

摘要

Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Bilden einer Mehrzahl von Dünnfilmbauelementen. Das Verfahren umfasst das grobe Strukturieren von zumindest einem Dünnfilmmaterial auf einem flexiblen Substrat und das Bilden einer Mehrzahl von Dünnfilmelementen auf dem flexiblen Substrat mit einem selbst ausgerichteten Prägelithografie(SAIL)-Prozess.