Mikroskopisches Abbildungssystem und Verfahren zur Emulation eines hochaperturigen Abbildungssystems, insbesondere zur Maskeninspektion

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Abbildungssystem für Inspektionsmikroskope, mit denen Lithographiemasken insbesondere durch die Emulation hochaperturiger Scannersysteme auf Fehler geprüft werden können. DOLLAR A Das mikroskopische Abbildungssystem zur Emulation hochaperturiger Abbildungssysteme besteht aus einer Abbildungsoptik, einem Detektor und einer Auswerteeinheit, bei dem polarisationswirksame optische Bauelemente im Beleuchtungsstrahlengang zur Erzeugung unterschiedlicher Polarisationszustände der Beleuchtungsstrahlung und/oder im Abbildungsstrahlengang zur Selektion unterschiedlicher Polarisationsanteile der Abbildungsstrahlung wahlweise angeordnet sind, ein optisches Bauelement mit polarisationsabhängiger Intensitätsschwächungsfunktion in den Abbildungsstrahlengang eingebracht werden kann, Abbilder der Maske und/oder Probe für unterschiedlich polarisierte Strahlungsanteile vom Detektor aufgenommen und an die Auswerteeinheit zur Weiterverarbeitung weitergeleitet werden. DOLLAR A Mit der vorgeschlagenen Lösung ist es insbesondere möglich, Lithographiemasken, trotz immer kleiner werdenden Strukturen und immer höheren abbildungsseitigen NA der Abbildungssysteme, mit Hilfe von Inspektionsmikroskopen auf Defekte zu untersuchen. Es können reale Abbildungen der Scannersysteme durch Emulation der auftretenden Vektoreffekte erzeugt werden.