适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统

摘要

本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺宽容度，可以在较低680℃－760℃的情况，获得满意的欧姆接触特性。该技术的合金温度、合金时间有很大的选择范围，降低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。获得比较理想的合金形貌。这些优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。

主权项

1.一种新结构的欧姆接触系统，其特征在于，欧姆接触金属蒸发时采用五层结构的AlTiAlNiAu结构，与AlGaN组成金半界面的是Al。