| 发明名称 | 多层静电吸盘及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有静电吸持电极的陶瓷静电吸盘装置，适用于吸持晶片和平板显示器。该吸盘装置包括上部绝缘层、吸持电极、第2绝缘层、用于将电源分配给一个吸持电极的第1金属化层、第3绝缘层、用于将电源分配给另一吸持电极的第2金属化层、第3绝缘层、内外加热电极、第5绝缘层、用于将电源分配给加热电极的第3金属化层、及至少一个附加绝缘层。这些绝缘层包括多组用于将电极和金属化层相互连接的导电连通线。 | ||
| 申请公布号 | CN1242453C | 申请公布日期 | 2006.02.15 |
| 申请号 | CN03119880.5 | 申请日期 | 1996.03.01 |
| 申请人 | 兰姆研究公司 | 发明人 | 安瓦尔·侯塞因 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H02N13/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李德山 |
| 主权项 | 1.一种多层静电吸盘装置，包括：电绝缘陶瓷材料的第1绝缘层；电绝缘陶瓷材料的第2绝缘层；位于第1和第2绝缘层之间的静电吸持电极，该吸持电极包括导电材料的第1和第2带形线；延伸通过第2绝缘层并与第1带形线电接触的第1组导电连通线；以及延伸通过第2绝缘层并与第2带形线电接触的第2组导电连通线，所述第1组连通线包括通过小于第1带形线宽度的距离相互隔开的至少两个连通线，所述第2组连通线包括通过小于第2带形线宽度的距离相互隔开的至少两个连通线。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||