| 发明名称 | 高温氧化法制备纳米氧化锌薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 一种高温氧化制备纳米氧化锌薄膜的方法，其特征在于本方法是通过对硫化锌薄膜进行氧化退火制备氧化锌薄膜的方法。本发明的优点是：硫化锌薄膜的制备采用普通的电子束蒸发方法；氧化过程在普通的马弗炉中进行；整个制备过程简单易行，操作方便，制备技术可控，可以避免氧空位和锌间隙等缺陷，得到锌氧比例符合化学计量比、结晶良好的纳米氧化锌薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1733973A | 申请公布日期 | 2006.02.15 |
| 申请号 | CN200510027006.9 | 申请日期 | 2005.06.22 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 王素梅;傅小勇;夏国栋;邵建达;范正修 |
| 分类号 | C23C30/00(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/58(2006.01);C23C8/10(2006.01) | 主分类号 | C23C30/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种高温氧化制备纳米氧化锌薄膜的方法，其特征在于本方法是通过对硫化锌薄膜进行氧化退火制备氧化锌薄膜的方法。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||