| 发明名称 | 基片传送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于可靠地传送基片并检测基片的接收状态的基片传送装置。该基片传送装置包括夹紧件，当托架从装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在托架凹形部件上的基片。夹紧件可以包括推杆和弹性件。推杆具有与基片边缘接触的弯曲部分，并设置在基座上，与至少一个托架在相同的方向上移动，弹性件提供弹力以使推杆从侧面推压基片边缘。 | ||
| 申请公布号 | CN1733577A | 申请公布日期 | 2006.02.15 |
| 申请号 | CN200510075184.9 | 申请日期 | 2005.06.10 |
| 申请人 | 塞梅斯株式会社 | 发明人 | 朴舟楫;崔贞烈 |
| 分类号 | B65G49/05(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | B65G49/05(2006.01) |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 武玉琴;胡育昌 |
| 主权项 | 1.一种基片传送装置，包括：基座；至少一个托架，该托架具有在上面放置基片的凹形部件，且从基座上形成的凹槽位置向基片装载位置移动；以及至少一个夹紧件，当所述至少一个托架从基片装载位置返回至凹槽位置时，该夹紧件夹紧放置在凹形部件上的基片。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||