WAFER TREATMENT SYSTEM HAVING LOAD LOCK AND BUFFER,申请号EP20040752974-传众专利搜索

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发明名称	WAFER TREATMENT SYSTEM HAVING LOAD LOCK AND BUFFER
摘要
申请公布号	EP1625609(A2)	申请公布日期	2006.02.15
申请号	EP20040752974	申请日期	2004.05.21
申请人	AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.	发明人	MITCHELL, ROBERT;WEED, ALLAN;GUELER, RICHARD
分类号	B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	B65G49/07
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