| 发明名称 | 小批量光刻台 | ||
| 摘要 | 在第一方面中，本发明提供了一种小批量光刻台。该小批量光刻台包括：(1)多个光刻工具；及(2)适于将小批量衬底载体传送到光刻工具的小批量传输系统。每个小批量衬底载体适于保持少于13块衬底。本发明还提供许多其他方面。 | ||
| 申请公布号 | CN1734715A | 申请公布日期 | 2006.02.15 |
| 申请号 | CN200510091302.5 | 申请日期 | 2005.06.10 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | E·A·恩格尔哈特;V·沙阿 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);B65G49/07(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 1.一种方法，其包括：在多个小批量衬底载体中存储衬底，每个所述小批量衬底载体适于保持少于13块衬底；及在半导体器件制造设备的光刻台中传输所述小批量衬底载体中的至少一个。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||