发明名称 盘片溅镀遮罩
摘要 本发明涉及一种盘片溅镀遮罩,包含一遮罩主体以及一遮罩内环,其中,遮罩主体具有一第一开口及一连接部,连接部环设于第一开口周围;遮罩内环具有一第二开口、并以部分重叠的方式固设于连接部,且第二开口相对位于第一开口中。
申请公布号 CN1734609A 申请公布日期 2006.02.15
申请号 CN200410057441.1 申请日期 2004.08.13
申请人 精碟科技股份有限公司 发明人 林传家;刘近兴
分类号 G11B7/26(2006.01) 主分类号 G11B7/26(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 陈肖梅;文琦
主权项 1、一种盘片溅镀遮罩,其特征在于,包含:一遮罩主体,其具有一第一开口、以及一连接部,该连接部环设于该第一开口周围;以及一遮罩内环,其具有一第二开口、并以部分重叠的方式固设于该连接部,其中该第二开口相对位于该第一开口中。
地址 台湾省台北县五股乡五权七路13号