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发明名称 Electrode Structure of The Plasma Surface Treatment Device
摘要
申请公布号 KR100552378(B1) 申请公布日期 2006.02.15
申请号 KR20047010440 申请日期 2003.10.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;H01J37/32 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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