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经营范围
发明名称
THICKNESS MEASUREMENT METHOD OF METAL LAYER AND THICKNESS MEASUREMENT APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060014214(A)
申请公布日期
2006.02.15
申请号
KR20040062816
申请日期
2004.08.10
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, JANG IK;JUN, CHUNG SAM;PARK, HWAN SHIK
分类号
G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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