光照射装置及光照射方法

摘要

本发明是用于激光退火装置的光照射装置，具备控制部(9)，通过该控制部，在旋转轴(7a)的旋转从右旋向左旋变化后检测出旋转角成为+β时，使固态激光器(4)的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为－β时，使固态激光器的脉冲截止，在旋转轴的旋转从左旋向右旋变化后检测出旋转角成为－β时使固态激光器的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为+β时使固态激光器的脉冲截止。控制部还使可动平台(3)沿恒速移动方向恒速移动，从恒速移动方向的一端到另一端对退火对象物(2)照射光束后，使可动平台沿定距移动方向仅移动规定距离，以均匀的能量照射被照射物的整个面。

主权项

1.一种光照射装置，其特征在于，具备：射出光束的激光源；支持平板状的被照射物的平台；照射部件，其具有使偏转角在一定范围内周期性变化的同时使入射光束偏转的偏转部件，并引导上述激光源射出的光束，使上述光束按照沿着上述被照射物主面的第1方向进行扫描的同时照射上述主面；射出控制部件，对应于上述光束的偏转角，控制上述激光源的光束射出；第1控制部件，在由上述射出控制部件控制的上述光束一边沿上述第1方向扫描一边照射上述被照射物主面的同时，使上述平台相对上述照射部件在沿着上述被照射物主面并与上述第1方向正交的第2方向移动；第2控制部件，在上述第1控制部件控制后，控制使上述平台相对上述照射部件沿着上述第1方向移动，在沿着由上述第2控制部件控制的上述第1方向上不同的多个位置上，由上述第1控制部件控制的照射分别对上述被照射物的同一被照射面进行，上述被照射物的大致所有的被照射面由上述不同的多个位置上的上述第1控制部件进行光束的照射。