声表面波元件的制造方法

摘要

一种SAW元件，包括在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个叉指换能器电极和多个反射器电极导引出的多个焊盘电极，多个焊盘电极具有不与SAW元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与外周区域直接对向的邻接焊盘电极，通过至少在切割工序前刻蚀除去连接了孤立焊盘电极与邻接焊盘电极的连接电极，防止因热电效应导致的放电的发生，防止电极的损伤。

主权项

1.一种声表面波元件的制造方法，包括以下步骤：形成多个声表面波元件，该声表面波元件包含在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个上述叉指换能器电极和多个上述反射器电极导引出的多个焊盘电极，在上述声表面波元件的各个外周部上形成的切割线，连接上述焊盘电极中不能直接连接到上述切割线上的孤立焊盘电极与能直接连接到上述切割线上的邻接焊盘电极的连接电极，和将上述邻接焊盘电极连接到上述切割线上的短路电极；在上述焊盘电极上形成焊盘增强电极；除去上述连接电极的至少一部分，使上述孤立焊盘电极和上述邻接焊盘电极呈电开路状态；以及沿上述切割线切断上述压电基片。