发明名称 半导体聚合体系、其利用装置以及其在控制腐蚀方面的用途
摘要 为了提供更广泛系列的半导体元件和一种可以防止同腐蚀环境接触的金属组织表面受腐蚀的体系,本发明提供了一种将有机涂料、电子及半导体技术结合的半导体体系,该体系包括:a)半导体有机聚合物涂料,至少同部分表面接触;和b)电子滤波器,用于过滤腐蚀杂波,及一种使用该体系防止腐蚀的方法。
申请公布号 CN1242097C 申请公布日期 2006.02.15
申请号 CN02811467.1 申请日期 2002.06.07
申请人 实用半导体公司 发明人 大卫B·道林
分类号 C23F13/00(2006.01);C23F13/02(2006.01);C23F13/04(2006.01);C23F13/06(2006.01);C23F13/16(2006.01) 主分类号 C23F13/00(2006.01)
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 钟晶
主权项 1.一种防止与腐蚀环境接触的导电结构受腐蚀的方法,其特征在于该方法包括:(a)将半导体有机聚合物涂料涂覆在该导电结构上并将电子滤波器连接到被涂覆的导电结构;(b)监测由被涂覆的导电结构产生的腐蚀杂波并调整该电子滤波器的滤波器属性使腐蚀杂波最小化。
地址 美国纽约州