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发明名称
摘要
申请公布号 JP3746302(B2) 申请公布日期 2006.02.15
申请号 JP19920015324 申请日期 1992.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L29/786;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/861 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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