基板处理装置

摘要

处理部由在上下方向设置有于略水平方向搬送基板并同时对基板进行处理的基板处理列而构成。IF部将由各基板处理列送出的基板搬送至有别于本装置之曝光机。此处，将基板搬送至曝光机的顺序，与基板搬入处理部的顺序相同。如此，由于将基板处理列设置在上下方向，因此不会增大占地，可大幅提升本装置之处理量。又，由于基板搬送至曝光机的顺序与基板W搬入处理部的顺序相一致，因此可易于管理各基板。