原子力颗粒显微镜

摘要

一种原子力颗粒显微镜，包含主机、主控制器和探头。主机发出控制信号，经过主控制器送至探头上；探头开始探测，探头上的探针测得被测颗粒的信息经过探头内的预处理器预处理后，经过主控制器送至主机内。主机内经过形貌图处理模块、形貌图分析模块、颗粒统计模块以及观察显示模块后，既可以在显示器上观察到被测颗粒的形貌图像，又能获得较精确的被测颗粒的统计数据。所以，本实用新型的显微镜具有观察颗粒形貌图像和统计颗粒数据的两大功能。分辩率能够达到纳米级，测量精度小于0.5纳米，在不同范围的扫描均达到16位的精度。

主权项

1、一种原子力颗粒显微镜，包含带有显示器的主机，与主机连接的主控制器和与主控制器连接的探头，其特征在于：所说的主机内含有信息控制采集模块、形貌图处理模块、形貌图分析模块、颗粒统计模块和观察显示模块；所说的主控制器内含有扫描输出器、Z采样输入器、输出输入转换器和模数转换器；所说的探头内含有预处理器、扫描器和带振荡器的探针。