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发明名称 CVD COATING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1625243(A1) 申请公布日期 2006.02.15
申请号 EP20040721543 申请日期 2004.03.18
申请人 AIXTRON AG 发明人 KAEPPELER, JOHANNES
分类号 C23C16/458;(IPC1-7):C23C16/46;C23C16/448 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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