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发明名称 METHOD OF FORMING A HYDROXYL MONOLAYER ON THE SURFACE OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100551323(B1) 申请公布日期 2006.02.13
申请号 KR20030046357 申请日期 2003.07.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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