用以产生极紫外(EUV)光之装置

摘要

明揭示一种装置，其可包括：一光学放大器，其具有包含波长λ1以及λ2，且λ1≠λ2之一增益频带；一预脉冲种子雷射，其具有一用以调谐一预脉冲输出为波长λ1之调谐模组；一产生具有波长λ2之雷射输出的主脉冲种子雷射；以及一光束组合器，其用以经由该光学放大器引导该预脉冲输出以及该主脉冲输出至一共同路径。

主权项

一种用以产生极紫外(EUV)光之装置，其包含：一光学放大器，其具有包括波长λ1以及λ2之一增益频带，且λ1≠λ2；一预脉冲种子雷射，其具有用以调谐一预脉冲输出至波长λ1之一调谐模组；一主脉冲种子雷射，其产生一具有波长λ2之雷射输出；以及一光束组合器，其用以经由该光学放大器引导该预脉冲输出以及该主脉冲输出在一共同路径上，其中该调谐模组藉由至少下列步骤执行该调谐：a)为该主脉冲种子雷射择定该波长λ2，b)在该择定后，反复地使用一试误法测试多个预脉冲波长以确保利用该等多个预脉冲波长中之一预脉冲波长的一计算出的预脉冲种子输出脉冲能量满足一第一条件及一第二条件中之至少一者，该第一条件为基于该预脉冲波长的该计算出的预脉冲种子输出脉冲能量系在针对该预脉冲种子雷射之一操作输出能量范围内，该第二条件为该计算出的预脉冲种子输出脉冲能量对主脉冲雷射输出能量之比值系在一预界定范围内，以及c)若该预脉冲波长满足该第一条件及该第二条件中之至少一者，则把该预脉冲波长指定为该λ1。